Diener TETRA 30-100-150
Basis configuratie
- Volume van de kamer 30 - 50 - 100 - 150 liter
- Vacuümpomp - diverse mogelijkheden volgens applicatie
- Gastoevoer via naaldventielen of Mass Flow Controllers (MFC)
- Vacuüm kamer in RVS uitvoering, aluminium, glas of kwarts
- Substraatdrager in diverse materialen en uitvoeringen
- Generator 40-80 kHz, 13.56 MHz of 2.45 GHz
- Eén elektrode of multi-level elektrodes
- RIE - elekrode optioneel
- Manuele bediening, basic PC-sturing of full PC-sturing
< class="" >