Diener NANO

Basis configuratie

• Volume van de kamer 18 tot 36 liter 
• Vacuümpomp - diverse mogelijkheden volgens applicatie 
• Gastoevoer via naaldventielen of Mass Flow Controllers (MFC) 
• Vacuüm kamer in RVS uitvoering, aluminium, glas of kwarts 
• Substraatdrager in diverse materialen en uitvoeringen 
• Generator 40-80 kHz, 13.56 MHz of 2.45 GHz 
• Eén elektrode of multi-level elektrodes RIE - elekrode optioneel
• Manuele bediening, basic PC-sturing of full PC-sturing